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真空镀膜机零件的密封特性是什么

来源:www.carwayaxle.com发表时间:2020-11-29

真空镀膜机真空室、真空炉体、泵体、真空表的加热电极和引线通常满足以下要求:真空密封、耐高温(真空系统烘烤、电极加热引线加热等)、良好的电气绝缘性能。金属陶瓷密封可以满足这些要求。陶瓷零件的工作温度可达70℃-1000℃以上,在高温下具有良好的气密性和电绝缘性能。
本文主要介绍了涂装设备零件用金属陶瓷密封结构的基本形式和特点
平面密封通常用于陶瓷环和薄板端面与金属零件平面之间的密封。1单面密封
单面密封方式密封应力大,机械强度低,抗热震性差,因此要求采用薄壁金属零件或陶瓷与金属具有紧密的线膨胀系数。
2夹紧密封件
它可以降低密封应力,密封错配较大的陶瓷和金属零件。2、夹克
套筒密封通常用于金属筒体和陶瓷环件的密封。其特点是强度高,耐热性好。金属和陶瓷零件的加工精度高,陶瓷零件的内(外)圆表面需要磨削。
1涂层密封
陶瓷制件在压力状态下,可靠性高,抗热震性好,机械强度高,可密封错配量大的材料2
封接应力大,大多数情况下,陶瓷存在拉应力,抗热震性差,强度低。密封应选用线膨胀系数小于或接近陶瓷的金属材料
针状密封通常用于陶瓷孔中的固体金属针状密封。1针阀直接密封
与内套筒密封相似,密封应力大,抗热震性差。适用于细线(针径<1mm,线膨胀系数小于或接近陶瓷金属材料)。
2过渡针密封
过渡销的密封形式可靠性强,可作为陶瓷失配量大的金属针密封。

  

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